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氮化硅传统工艺

发布日期:2019-12-28 14:20:33 作者:admin 点击:80

  国际上研发的SI3N4粉末制备方法很多,有代表性的工作室美国Dow Chem Co.开发的SiO2的碳热还原氮化法,和国际上普遍采用的硅粉直接氮化法。国际上大的生产厂家有Starck(德)、AME(英)、Kemanord(瑞典)和日本电工等厂商。两种工艺都需要很长德氮化时间,一般为每周期72小时。所制备的氮化硅粉末价格也较高。美国报导的硅粉氮化法制取SI3N4的价格为35美元/公斤。而国际市场的氮化硅粉体的实际平均价格为45美元/公斤。但由于粉体性能原因,国际市场普遍接受的粉末仍是日本Ube公司的产品(工艺上采用氨解法,产品价格是120美元/公斤)。近年来,国内许多单位开发的制备纳米氮化硅粉末的等离子体法由于产品价格和产量规模的原因,尚不具备形成较大产业的可能性。

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